Продажа оборудования и приборов для контроля кaчества и исследования материалов
komef@komef.ru
(495) 916-1173
(495) 916-1594
(495) 916-1867

 

Обратная связь

Обратная связь

Ваше сообщение было успешно отправлено

Молекулярно-пучковая эпитаксия (МПЭ) или молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) — эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Позволяет выращивать гетероструктуры заданной толщины с моноатомно гладкими гетерограницами и с заданным профилем легирования. В установках МПЭ имеется возможность исследовать качество плёнок «in situ» (то есть прямо в ростовой камере во время роста). Для процесса эпитаксии необходимы специальные хорошо очищенные подложки с атомарногладкой поверхностью.

Технология молекулярно-пучковой эпитаксии была создана в конце 1960-х годов Дж. Р. Артуром (J. R. Arthur) и Альфредом Чо (Alfred Y. Cho).

Компания КОМЕФ является официальным представителем французской фирмы RIBER - лидером в производстве оборудования для МЛЭ

Подкатегории