Riber Epineat

 

 

 Установки серии Epineat  идеальны для мелкосерийного производства материалов с использованием технологии МЛЭ. Данные установки, способные обрабатывать три 2" (3x2") подложки одновременно, являются наиболее эффективным по стоимости решением для воспроизводимого производства 3-х и 4-х компонентных слоистых структур на базе GaAs и InP. Пользователи добиваются прекрасных результатов на данных установках: достигается высокая однородность (в пределах     +/- 1%), и высокая производительность (600 готовых 4" подложек с выращенной структурой в месяц), благодаря автоматизированной системе управления процессом Crystal™. Линейка установок Epineat включает в себя как модульные системы (отдельные камеры роста таких систем связаны между собой трансферной линией – т.н. 32' серия), так и единые системы, состоящие максимум из 3-х камер: загрузочной, подготовительной (хранение / обезгаживание) и ростовой – т.н. 26' и 35' серия. Вертикальная геометрия эпи-камеры предоставляет возможность установки до 10 источников (допускается установка как источников для испарения твердых веществ, так и газо-инжекционных источников), операции по транспортировке подложек производятся посредством полностью моторизованной системы трансфера подложек.

 Ключевые особенности:

            Компактная и гибкая производственная система малого масштаба,
            Десять портов для источников, оснащенных линейными заслонками,
            Расширяемость до мульти-камерной системы (аналитические камеры, STM, и т.д.),
            Полностью моторизованная система удержания и транспортировки подложек,
            Полностью автоматизированная система управления процессом эпитаксиального роста  (Crystal™),
            Проверенные практикой результаты и надежность,
            Простота пуско-наладки и быстрый запуск,
            Поддержка пользователей в любой стране мира, осуществляемая компанией Riber.