Riber Compact-21

 

 

Установка Compact 21 – это новая базовая МЛЭ система Riber. Этот доступный по цене многоцелевой эпи-реактор обладает рядом ключевых особенностей и тщательно проработанной конструкцией, необходимой при проведении исследований в области полупроводниковых материалов. Установка Compact 21 является интегрированной системой, основанной на проверенной практикой технологии «Реактор вертикальной геометрии». Занимая малую площадь, установка предоставляет все необходимые функции на передовом техническом уровне. Более того, в силу присущей эргономике и модульной конструкции, как управление установкой, так и ее обслуживание предельно просты. В зависимости от применения (тип выращиваемой структуры и размер подложки), предоставляется на выбор два типа установки:

- Compact 21S – камера роста оснащается 7-ю портами для установки источников
- Compact 21T – камера роста оснащается 10-ю портами для установки источников.

Вариант установки с камерой роста, оснащенной 12-ю портами для источников, предоставляется по запросу.

 Загрузка образцов (подложек) производится при помощи:

(1)   камеры загрузки (исследовательская система)
(2)   трансферного модуля Modutrac™, который также добавляет возможность дооснащения установки камерами специальной обработки (металлизация образца, анализ образца, обезгаживание и т.п.)

 Ключевые особенности:

   Прекрасно подходит в качестве «первой» МЛЭ системы (удобство для «новичков»
   Возможность использования для получения структур II-V, II-VI, HgCdTeил Gan 
   Пригодность для обработки подложек диаметром до 3" (в горизонтальном положении)
   От 6 до 12 портов для установки МЛЭ источников
   Расширяемость
   Возможность проведения анализа In-situ
   Простота эксплуатации и обслуживания
   Поддержка пользователей в любой стране мира, осуществляемая компанией Riber.