Продажа оборудования и приборов для контроля кaчества и исследования материалов
komef@komef.ru
(495) 916-1173
(495) 916-1594
(495) 916-1867

Riber MBE-412

 

 

Установки серии 412  идеальны для мелкосерийного производства материалов с использованием технологии МЛЭ. MBE 412 от Riber - идеальный выбор для высоконадежного и недорогого роста пленок арсенидов, фосфидов, антимонидов, нитридов, оксидов и кремния-германия на одной 4-дюймовой пластине.

Эта исключительно универсальная машина обеспечивает однородность толщины пленки менее одного процента и имеет 12 отверстий для ячеек, симметрично распределенных по камере. Эти порты могут быть оснащены широким спектром источников, включая эффузионные ячейки, крекеры, источники плазмы, газовые инжекторы и источники с электронным нагревом.

Ключевые особенности:

            Компактная и гибкая производственная система малого масштаба,
            Двенадцать портов для источников, оснащенных линейными заслонками,
            Расширяемость до мульти-камерной системы (аналитические камеры, STM, и т.д.),
            Полностью моторизованная система удержания и транспортировки подложек,
            Полностью автоматизированная система управления процессом эпитаксиального роста  (Crystal™),
            Проверенные практикой результаты и надежность,
            Простота пуско-наладки и быстрый запуск,
            Поддержка пользователей в любой стране мира, осуществляемая компанией Riber.